リペア装置

 
当社のリペア装置はアレイ基板上に存在する様々な不良モードに対応するため、複数の波長レーザーを用いています。また、連続トラッキング・オートフォーカス、自動高速画像獲得機能、線欠陥の自動座標特定機能など、高スループットを実現するための各種機能を搭載しています。
当社のリペア装置により、リペアに掛かる人手と時間を最小化し、高効率な歩留まり向上が実現可能です。

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