アレイテスター

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Voltage Imagingは、TFTアレイ基板をアクティブマトリックス駆動し、その際の各画素の電圧を画像データとして取り出す当社独自の技術です。これにより、完全な点欠陥・線欠陥のみならず中間調のピクセル欠陥も検出することが可能です。これらの欠陥データは当社歩留まり管理システムEYES-2020にて解析・統計プロセス管理に活用できることに加え、リペア装置にて不良基板の良品化に活用いただけます。