欠陥自動分類

工程監視、GO/NG判定の自動化

10年以上の歴史を持つオルボテックの欠陥自動分類技術は、FPD生産プロセスでは頻繁に活用されています。欠陥分類の自動化により、統計的工程監視の精度向上と異常検知を早期化し、またリペアのためのGo/NG判断の無人化を実現します。 特に欠陥自動分類によりGo/NG判断を自動化した場合については、目視レビューに用いる顕微鏡の削減と、リペアにより歩留まりの向上(不良品にかかわる材料費ロスの削減)というメリットがあります。


欠陥自動分類(ADC)の特長:
 

  • スキャン画像を用いたリアルタイム分類による欠陥の絞込み
  • 高解像度顕微鏡画像を用いたビデオ分類による高精度分類
  • 高信頼性、再現性
  • 学習方式とプログラム方式の併用(ビデオ分類の場合)
  • GUIを用いた簡便なレシピ作成

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