EYES-2020™
生産プロセスの安定と歩留まりの向上を実現する最先端の歩留まり管理システム
EYES-2020はFPD生産プロセスの工程管理向けデータ解析ソリューションです。各工程、各生産ロットの検査・測定結果をデータベースに格納し、統計解析による欠陥発生工程の特定、そしてリアルタイムで工程変動を管理するツールです。
オルボテックの検査装置が出力する欠陥データと測定データをもとに、長年のノウハウに培われた解析手法により、工程のわずかな変動に至るまで検知が可能になります。工程へのフィードバックを迅速に行うことにより、最適な歩留まり維持を実現することができます。また、EYES-2020には当社検査装置のプログラミング支援ツールも提供しています。これにより検査レシピの作成のための検査装置停止を最小限にとどめることができ、検査装置の稼動時間の最適化が可能です。
当社検査装置(AOI)とEYES-2020のコラボレーションは、一層信頼性の高いインテリジェントソリューションとして、生産プロセスの安定稼動と高い歩留まりを実現します。
EYES-2020の特長：
- 欠陥画像閲覧機能（RIV）により、欠陥の顕微鏡画像、マクロ欠陥画像ならびに各種測定結果の目視確認が可能
- 欠陥データ、測定データの各種統計処理と変動管理
- 欠陥の傾向管理および発生工程の追跡（Defect Source Analysis）
- 分類および測定レシピのプログラミング支援ツール
- セントラルデータベース：工程内の当社装置のデータの一括管理とレシピ共有
- クライアント/サーバコンフィギュレーションにより、ユーザー様の希望に応じた歩留まり管理ネットワークの構築が可能
