デジタルマクロ機能
むら欠陥の定量化と検出
オルボテックのデジタルマクロ機能は、従来のオペレータによる目視官能検査であったむら検査を代替します。基板サイズの大型化に伴い、人間の目視の限界を超えたマザーガラスに対しても安定した欠陥の判定が可能です。 当社は、一回の検査スキャンでミクロ検査（パターン欠陥の検出）とデジタルマクロ検査（むら画像の獲得）の同時処理を実現しました。マザーガラスの大型化により巨大になったマクロ検査ステーションのスペース、ロットの滞留時間を削減するとともに、従来の人間の官能検査を定量化します。
デジタルマクロの特長：
- 同一プラットフォームにおいて、タクト時間でミクロ/マクロ検査を実施
- 「ワーニング」機能により、マクロ欠陥を検出
- クリーンルームやオフィスなど場所を選ばず設置可能
- 人間の目視による官能検査と比較して、定量化されており高い再現性を
実現
