測定機能

• お問合せ

測定機能

検査と同時に線幅/重ね合わせを測定

オルボテックは検査装置に線幅/重ね合わせ測定機能を搭載しました。別途オフラインの線幅/重ね合わせ測定装置に基板を搬送する必要がないため、測定頻度を上げ、タイムリーな管理が可能となります。 線幅/重ね合わせ装置の台数を最適化し、クリーンルームの有効活用が可能です。あわせて、生産ロットの滞留を最小化し、工程異常検知の最短化を図ります。

測定機能の特長：

• 高速測定が可能
• 高い測定精度と繰り返し精度
• 検査装置上での測定による省スペース化