周辺回路検査

オルボテックの周辺回路検査技術により、a-Si TFTの引き出し線部、LTPSのドライバー部のパターン欠陥の検査が可能です。表示画素部との同時検査により、追加タクトなしで高速・高感度のパターン検査を実現します。また、新規開発のDie to Die比較機能により検査可能領域を最大化しました。

周辺回路検査の特長：

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