工程異常の早期検出
リモート レビュー ステーション機能（RRS）は、従来の生産ロットを用いた目視レビューの代替機能です。従来は生産ロットを顕微鏡まで搬送し、オペレータによる目視レビューが主流でした。RRSは、検査装置が出力する欠陥のオンマシン顕微鏡画像を用い、EYES-2020上で仮想のレビュー、分類、Go/NG判断を行うことができるアプリケーションです。
RRSの特長：
- オフライン/オンラインでの欠陥レビュー
- 欠陥、基板、ロットの各々に対するGo/NG判断
- 使いやすい洗練されたGUI
- 設置場所を選びません、クリーンルームでも事務所でも使用可能
- 実際の生産ロットを搬送せずに欠陥レビュー、分類、Go/NG判断が実施可能
