VeriFine™/VeriFine™-A/Ultra VeriFine™-A
最新技術を備えたオルボテックのファインライン向け欠陥/確認修正機は、画像品質、検証速度、使いやすさの点で従来の検証工程を向上させる画期的な製品です。専用設計のオプティカルヘッドを搭載したパワフルな光学系と4種類の照明により、欠陥部へ高精度な画像を提供し、最小1.5μmまでの欠陥検出が可能です。 VeriFine-Aは、オルボテックの新しいアメジストテクノロジー（UV照明システム（特許出願中）と画像ソフトウェアを搭載）を採用しており、目視での欠陥確認ミスを抑制でき、歩留まりを向上させます。
VeriFine/VeriFine-Ａ/Ultra VeriFine-Aの特長
- 卓越した画像品質・
- ・アメジストテクノロジー採用*
- ・生産性向上のための使いやすさ
- ・欠陥箇所への容易なアクセスと広い作業エリア
- ・リペア作業が行いやすい傾斜テーブル
- ・低騒音動作のバキュームポンプ
*VeriFine-AとUltra VeriFine-Aモデルのみ
| 対応線幅 | |
| VeriFineTM | 15 µm |
| VeriFineTM-A | 15 µm |
| Ultra VeriFineTM-A | 7 µm |
