매크로 검사
주 기능:
- 같은 플랫폼에서 동일한 TACT로 마이크로불량 및 매크로 불량 검사를 동시에 실행
- ‘경고’ 기능으로 사용자에게 매크로 불량이 될 수 있는 패널에 대해 알려줌
- 이미지 및 불량 ‘경고’ 표시로 청정실 내부 또는 외부에서 사용자에 의해 판단 될 수 있음
- 매크로 검사를 위한 표본 검사비율을 높이는 것이 가능
이점:
- 짧아진 경고까지의 시간
- 숙련되지 않은 사용자도 운용 가능
- 전용 매크로검사 시스템 구매비용 절감
- 청정실 공간 및 비용 절감
- 매크로검사 시간 절감
- 이미지는 장시간 공정 감시를 위해 보관됨
- 매크로 검사를 위해 패널을 운반할 필요성 없음
