공정 이상을 신속히 처리하여 수율 극대화
오보텍의 고급 원격 리뷰스테이션(RRS: Remote Review Station)은 원격 및 오프라인으로 불량 이미지 검출의 검토 및 공정 점검을 극적으로 향상시키며, 불량, 반복, 패널 및 로트 판정을 용이하게 합니다. RRS는 불량을 검토하고 판정을 수행하기 위한 정교한 사용자 인터페이스를 구비하고 있습니다.
주 기능:
- 오프라인 또는 온라인 불량 검사 및 분류 가능
- 롯트/패널/불량 판정 수행
- 불량 검사를 위한 정교한 사용자 인터페이스 구비
이점:
- 청정실 내부 또는 외부에서 운용자에 의해 이미지 및 불량 정보 확인 가능
- 전용 리뷰스테이션 구매비용 절약
- 적은 설치면적으로 청정실 공간 및 비용 절감
- 리뷰 검사를 위해 운반 필요성 없음
- 짧은 리뷰 검사 시간:
- AOI/테스터에서 R/S로 카세트를 이송할 필요가 없음
- R/S에서 글래스를 Loading 및 Un-loading 할 필요가 없음
- R/S에서 Alignment 및 Stage 이동 필요성이 없음