APCVD

SPTS는 SPP Technologies, Ltd.와의 계약에 따라 SiH4 또는 TEOS 기반 유전체의 기압 CVD를 위한 솔루션을 제공하고 있습니다. 특허받은 Watkins Johnson(WJ) 선형 주입기 기술을 기반으로 한 이러한 APCVD 제품 라인을 이용하면 웨이퍼 전반에 과도막 및 균일한 갭 충전이 없는 도핑되거나 도핑되지 않은 필름의 반복 가능한 정밀 증착을 수행할 수 있습니다.
웨이퍼 운송은 자가 세척 벨트 컨베이어를 통해 진행되므로 최저의 유전체 갭 충전 CoO로 탁월한 시스템 신뢰성을 확보할 수 있습니다.
 
다중 플랫폼 옵션과 가용성
  • WJ-999 - TEOS 및 수소화 프로세스를 위한 프로세스 챔버 3개
  • WJ-1000 - TEOS 및 수소화 프로세스를 위한 프로세스 챔버 4개
  • WJ-1500 - TEOS 프로세스 전용 챔버 4개
공장 인증 시스템 재제조는 모든 시스템에 대해 제공되며 여러 업그레이드 옵션을 통해 제품의 수명 연장과 확장성을 보장합니다.
제품 이미지:
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SPTS는 SPP Technologies, Ltd.와의 계약에 따라 SiH4 또는 TEOS 기반 유전체의 기압 CVD를 위한 솔루션을 제공하고...

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