MVD®

MVD®(분자 증착) 시스템

MVD® 는 전통적인  액체 코팅 프로세스를 제조 응용 분야에 가장 적합한 높은 재현성을 갖은 기상 증착 방식으로 대체한다  재현성이 높은 증착 방식입니다. 

MVD® 소수성 안티스틱션  필름의 이점을 갖춘 일반적인 MEMS 소자에는 디스플레이, 센서, 작동기, RF 스위치, 잉크젯 및 데이터 저장 장치 등이 포함됩니다. BioMEMS 응용 분야에는 마이크로 유체의 습윤 조절(랩온어칩(lab-on-a-chip), 마이크로플레이트), 이식 장치의 패시베이션, 생체 적합성 표면 코팅이 필요한 장치 및 기능성 표면 코딩이 필요한 장치 등이 포함됩니다.

MVD® 는 습기 차단재, 부식 방지 코팅 또는 각인을 위한 박리층이 필요한 상용 응용 분야에도 사용됩니다.

제품 범위

MVD100E

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The MVD100E is SPTS's designated tool for R&D or pilot manufacturing. MVD® is finding increasing use in applications requiring moisture...

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MVD300 / MVD300E

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The MVD300® (and MVD300E with an EFEM) are designed for high performance, flexibility and reliability for the most demanding high volume...

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MVD4500

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The MVD4500 is our panel and large substrate tool. It is capable of handling multiple substrates with sizes up to 930 x 720 mm. It is the only...

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