SPTS Products

Available on a range of wafer handling platforms, SPTS supplies semiconductor wafer processing systems for volume production, R&D or pilot production environments. Served markets include Advanced Packaging, MEMS, LEDs, Power Semiconductors, and High Speed RF-ICs.

Technologies and Process Solutions offered include:

Single Wafer Platforms

SPTS's ICP, DRIE, PECVD, PVD and MOCVD modules are available on 3 wafer handling platforms:

  • fxP® - 100 to 300mm wafer size. Supports Etch, PVD, PECVD, MOCVD and HF Release modules
  • c2L® - 3" to 200mm wafer size. Supports Etch, PVD, PECVD, MOCVD and HF Release modules
  • LPX - 3" to 200mm wafer size. Supports Etch & PECVD modules only

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Plasma Etch

Plasma Etch

플라즈마 식각 Omega® 식각 시스템 SPTS는 MEMS, 고급 패키징, LED, 고속 RF IC 및 전력 반도체 산업 내의 광범위한 응용 분야를 위한 고급 식각 기술을...

Plasma Dicing

Plasma Dicing

플라즈마 다이싱을 위한 Mosaic™ System DRIE(딥 반응성 이온 식각) 처리법을 이용한 플라즈마 다이싱은 톱날이나 레이저를 사용한...

Mosaic™ system for plasma dicing
HF 박리 식각

HF 박리 식각

Primaxx® 식각 시스템 SPTS는 연구 및 개발용 연구실 시스템부터 대량 생산을 위한 멀티 챔버 클러스터 도구에 이르는 가장 폭넓은...

XeF2 Vapor Release Etch

XeF2 Vapor Release Etch

Xactix® XeF2 박리 식각 시스템 제논 다이플루라이드를 사용하는 실리콘의 등방성 식각은 MEMS 소자 박리를 위한 이상적인...

Metal Deposition

Metal Deposition

Sigma® 증착 시스템 Sigma 제품군은 기존 PVD부터 MOCVD를 아우르는 증착 기술로 100mm ~ 300mm의 웨이퍼 크기를 지원합니다.  금속 증착...

Sigma® deposition systems
Molecular Vapor Deposition  (MVD®)

Molecular Vapor Deposition (MVD®)

MVD® 는 전통적인  액체 코팅 프로세스를 제조 응용 분야에 가장 적합한 높은 재현성을 갖은 기상 증착 방식으로...

PECVD

PECVD

SPTS의 Delta PECVD 시스템은 MEMS 내의 광범위한 응용 분야, 화합물 반도체, 고급 패키징에 사용됩니다. 75mm ~...

Delta® PECVD
Inkjet Package Marking

Inkjet Package Marking

Orbotech Inkjet™ 600 Orbotech Inkjet™ 600은 잉크젯을 기반으로 한 도트 매트릭스 적층 인쇄 기술입니다. 시스템은 기능성 UV 경화성...

Single Wafer Platforms

Single Wafer Platforms

To address the requirements of both volume manufacturing, pilot production and R&D applications, SPTS offers their etch and deposition process technologies on a range of...

Thermal Products

Thermal Products

Under agreement with SPP Technologies Ltd (SPT), SPTS offers a range of large batch vertical furnaces (LPCVD), and APCVD systems.  We are able to offer both new and...