HF 박리 식각

Primaxx® 식각 시스템

SPTS는 연구 및 개발용 연구실 시스템부터 대량 생산을 위한 멀티 챔버 클러스터 도구에 이르는 가장 폭넓은 범위의 건식 HF 증기 박리 제품을 제공합니다. 업계 최고의 Primaxx® HF 증기 식각 박리 기술은 주로 MEMS 소자의 실리콘 미세 구조물을 박리하기 위해 희생 실리콘 산화막을 제거하는 데 사용됩니다.

당사의 독점적 건식 프로세스는 기존의 습식 처리 기술에서 흔하게 관찰되던 문제인 박리된 움직이는 부품의 점착성과 섬세한 구조에 대한 손상을 방지합니다.

감압 및 가온 상태의 무수 HF 증기와 알코올 증기를 결합하면 미러 및 본드 패드와 같은 노출된 알루미늄/합금 형상을 포함한 MEMS 디자인에서 발견되는 기타 일반적인 소재에 대한 높은 선택성을 유지하면서 다양한 산화물 구성 요소와 두께를 처리할 수 있는 폭넓고 안정적인 프로세스 윈도우를 제공합니다.

제품 범위 

Primaxx® Monarch300

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Primaxx® Monarch 25

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Primaxx® Monarch 3

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This compact module includes a three-wafer process chamber, and...

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Primaxx® uEtch

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