LPCVD/확산

SPTS는 SPP Technologies, Ltd.와의 계약에 따라 다양한 대형 일괄 수직로를 제공하고 있습니다. 당사는 특정한 엔지니어링 요구 사항을 충족하기 위해 신규 및 공장 인증 재제조 시스템과 맞춤형 시스템 변환을 모두 제공할 수 있습니다. 실제로 성능이 입증된 수직로는 탁월한 프로세스 결과, 높은 생산량 및 최저 소유 비용(CoO)을 제공합니다.

제품: 

다양한 저압 화학 증착(LPCVD) 확산 프로세스 포트폴리오에는 다음이 포함됩니다.

  • 습식/건식 열 산화물
  • LPCVD 산화물(HTO)
  • 화학량 및 응력 제어 LPCVD 질화규소
  • LPCVD TEOS
  • 도핑 및 도핑되지 않은 LPCVD 폴리실리콘
  • 저온 LPCVD SiGe
  • 100°C 이상 1200°C 초과의 열처리 공정

LPCVD의 서비스가 제공되는 시장:

AVP / RVP

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The AVP/RVP vertical batch furnace delivers superior process results, the lowest cost of ownership (CoO)...

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RVP-300plus

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The RVP-300plus vertical batch furnace is a flexible platform for...

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