量測

用於黃光/蝕刻部門流程控制的 CD 和OVERLAY測量

奧寶直接在 AOI 上使用CD和Overlay測量,使黃光/蝕刻部門可執行流程控制。 您不再需要將玻璃面板移動到一台專用的、耗費資源的獨立 CD/Overlay設備上,而可以在缺陷檢測之後,使用 AOI 立即對每塊面板執行這些測量。 這樣您就可以達到成本縮減的即時流程監控,並且簡化了測試和測量部門的搬運支援,從而得到更高的良率,減少最終生產成本。

主要優勢:
 

  • 快速測量
  • 高精確性和可重複性
  • 可在同一個平臺上進行檢測和測量

 
優勢:

  • 確保更高的採樣率
  • 顯著改善測量能力
  • 提升流程控制水平
  • 快速測量
  • 節省離線測量時間
  • 節約購買獨立測量設備的成本
  • 節省無塵室的面積和開支
  • 測量時無需運輸玻璃

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