量測
用於黃光/蝕刻部門流程控制的 CD 和OVERLAY測量
奧寶直接在 AOI 上使用CD和Overlay測量，使黃光/蝕刻部門可執行流程控制。 您不再需要將玻璃面板移動到一台專用的、耗費資源的獨立 CD/Overlay設備上，而可以在缺陷檢測之後，使用 AOI 立即對每塊面板執行這些測量。 這樣您就可以達到成本縮減的即時流程監控，並且簡化了測試和測量部門的搬運支援，從而得到更高的良率，減少最終生產成本。
主要優勢：
- 快速測量
- 高精確性和可重複性
- 可在同一個平臺上進行檢測和測量
優勢：
- 確保更高的採樣率
- 顯著改善測量能力
- 提升流程控制水平
- 快速測量
- 節省離線測量時間
- 節約購買獨立測量設備的成本
- 節省無塵室的面積和開支
- 測量時無需運輸玻璃
