快速處理製程偏差以實現良率最佳化
奧寶先進的遠程復查站 (RRS) 可顯著改善遠程及在線對缺陷圖像進行復查和驗證的流程，非常適合對缺陷、重複、玻璃和批次進行判斷。 復查站配備精緻的用戶介面，用來復查缺陷並進行判斷。
主要優勢：
- 允許離線或在線的缺陷復查與分類
- 進行批次/玻璃/缺陷判斷
- 配備精緻的用戶介面以復查缺陷
優勢：
- 操作人員可以在無塵室的內外對圖像和缺陷信息進行復查
- 約專用復查站的購買成本
- 占地更小，節省無塵室的面積和開支
- 復查無需運輸玻璃
- 復查週期更短：
- 無需將卡匣從 AOI/測試儀運到 R/S
- 無需在 R/S 上裝載/卸載玻璃
- 無需在 R/S 上進行校準和載台移動
