LPCVD/擴散

 
根據與 SPP Technologies, Ltd. 所簽訂的協議,SPTS 為其提供各種大批量直立型爐管。我們可以提供經原廠認證的全新再製造系統以及自訂系統轉換,來滿足特定工程設計需求。經過生產驗證的直立型爐管可以帶來出色的制程結果、高產量及最低成本 (CoO)。
 
產品:
 
多元化的低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 擴散制程產品組合,包括:
  • 濕式/乾式熱氧化
  • LPCVD 氧化物 (HTO)
  • 化學劑量及壓力控制的 LPCVD 氮化矽
  • LPCVD TEOS
  • 摻雜及未經摻雜的 LPCVD 多晶矽
  • 低溫 LPCVD SiGe
  • 100 至 1200°C 以上退火制程
 
LPCVD 服務的市場:
AVP / RVP

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The AVP/RVP vertical batch furnace delivers superior process results, the lowest cost of ownership (CoO)...

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RVP-300plus

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The RVP-300plus vertical batch furnace is a flexible platform for...

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