数字巨观检测
主要优势：
- 微检测和巨观检测都在同一个平台的同一个 TACT 进行
- “警告”功能提醒操作人员可能存在巨观缺陷
- 图像和缺陷 “警告”提示可由操作人员在无尘室内或无尘室外检视
- 巨观检测允许更高的采样率
优势：
- 报警时间更短
- 需要更少的操作技巧
- 节约专用巨观检测系统的购买成本
- 节省无尘室的面积和开支
- 减少巨观检测时间
- 图像归档便于长期监视
- 巨观检测时无需运输玻璃
×
Orbotech is proud to be a KLA company
You will now be redirected to KLA’s investor relations pages
