快速处理制程偏差以实现良率最佳化
奥宝先进的远程复查站 (RRS) 可显著改善远程及在线对缺陷图像进行复查和验证的流程，非常适合对缺陷、重复、玻璃和批次进行判断。 复查站配备精致的用户接口，用来复查缺陷并进行判断。
主要优势：
- 允许离线或在线的缺陷复查与分类
- 进行批次/玻璃/缺陷判断
- 配备精致的用户接口以复查缺陷
优势：
- 操作人员可以在无尘室的内外对图像和缺陷信息进行复查
- 约专用复查站的购买成本
- 占地更小，节省无尘室的面积和开支
- 复查无需运输玻璃
- 复查周期更短：
- 无需将卡匣从 AOI/测试仪运到 R/S
- 无需在 R/S 上装载/卸载玻璃
无需在 R/S 上进行校准和载台移动
