显示器制造

显示技术的进步会继续塑造我们身边的电子设备世界。从头戴式和可穿戴设备、智能手机、计算机设备、汽车显示器和电视再到大型互动展览,现代显示器正以各种形状和尺寸迸发出更高的性能。对于液晶显示器 (LCD) 和有机发光二极管 (OLED) 显示器制造以及 microLED 等新兴技术,创新为管理从研发阶段到大批量制造的良率和可靠性带来了新的挑战。显示器制造商使用 KLA 全面的工艺控制、检测、测试、维修和化学工艺控制解决方案组合来提高良率、提升产量并降低整个显示器制造过程的总拥有成本。

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Castor™

高效率图案化晶圆检测和计量系统

Castor™ 图案化晶圆检测系统是一款多合一解决方案,可解决硅基 OLED (OLEDoS) 制造的良率关键挑战。这种高效率系统可在一次运行中完成缺陷检查、审查和 3D 量测任务。从阳极层沉积到薄膜封装再到玻璃盖板,具有高级分类功能的高灵敏度缺陷检测为整个制造过程中的质量控制策略提供支持。通过在薄膜封装 (TFE) 工艺步骤中对隐藏缺陷进行快速、非破坏性的高度测量,可以快速识别并解决工艺问题。Castor 系统提供在线监控,以提高基于 OLEDoS 的微显示器的良率,为多种近眼显示应用提供超高分辨率视觉效果,包括虚拟现实 (VR) 和混合现实 (MR)。

Orbotech Sirius™

针对先进显示器制造之自动光学检测(AOI) 系统

Orbotech Sirius™ 显示器AOI系统利用多模态成像(MMI)™技术,于单次扫描中实现多种检测模式,实现高精准度之缺陷检测与分类。Orbotech Sirius™系统旨在解决最具挑战性的显示器制造问题,提高先进液晶显示器(LCD)、有机发光二极管 (OLED) 和柔性显示器在电视、智慧型手机、平板电脑、智能手表等电子设备中的良率。本AOI解决方案提供先进成像能力,能检测多种缺陷类型,具有卓越的分类性能,全面覆盖完整面板区域,同时结合围观与宏观检测能力。

Orbotech Flare™

MicroLED背板和巨量转移检测与量测系统

Orbotech Flare™ 制程控制解决方案有助加速MicroLED技术的良率。Orbotech Flare BP(背板)检测系统对显示器背板元件的关键缺陷具有高领敏度,有助于提高产能。透过应用精密的WireSense™ die-to-die 检测技术,该系统能够分析薄膜沉积、光刻或蚀刻过程后之图案结构,以快速识别制程问题。Orbotech Flare MT (巨量转移)检测与量测系统能够检测每个microLED元件的位置和放置准确性,提供定量化反馈质量转移过程。借助LEDSense™技术和360°暗场能力,该检测系统在产出水平实现100%测量覆盖率,能够检测出放置偏移与关键缺陷,如缺失、变形和破损的microLED。

Orbotech Array Checker™

针对先进显示器制造的电性测试系统

Orbotech Array Checker™ AC7000测试系统专为电视、智能手机、平板电脑、智能手表等电子设备的平板显示器提供快速、准确的电性检测与分类功能。凭借先进的检测能力与短平均总周期时间(TACT),无论是针对大型还是小型显示器,这些系统皆提供高产出率、生产灵活性与较低营运成本,确保低总体拥有成本(TCO)。显示器电气测试解决方案还采用独家非接触式电压成像技术、先进的人工智能检测算法和易于调整的探针,无论显示器尺寸与形状,皆能精确检测所有缺陷类型。

Orbotech Prism™

显示器修复系统

Orbotech Prism™ 系统为快速、精准的烧激光与沉积修复解决方案,能提高良率与操作效率并降低总拥有成本(TCO)。本解决方案专为高端电视、小型柔性OLED与microLED背板设计,提供强化修复能力,搭载选择性层高分辨率与高精度切割(<1μm)。凭藉其专利技术,Orbotech Prism能精确重现任何显示器设计中之缺失图案,并进行人工智能与规则的自动判断与修复。

Orbotech OASIS™

自动良率增效解决方案

Orbotech OASIS™(先进软件整合解决方案)为创新的人工智能驱动软件平台,提升显示器制造良率。Orbotech OASIS采用先进机器学习技术,针对KLA全系列显示器检测、量测、测试与修复系统之数据进行结合分析。通过联合分析实现协同效应,优化缺陷检测、分类与修复,并更快识别工艺问题以及提高修复效率。本先进解决方案通过产能管理自动化与工艺控制提高生产力,同时显著缩短上升时间,实现显示器智能生产之目标。

Process Probe™ 2070

原位平板温度检测系统

作为SensArray®产品家族的一分子,Process Probe™ 2070仪器化玻璃瓦片提供具有成本效益与灵活性的解决方案,可在许多平板处理应用中进行原位特性话温度分布表征。Process Probe™ 2070采用多个小型仪器化玻璃瓦片而非单一大型玻璃版,使热电偶感测器能轻松置于工艺腔内触点之理想位置。此灵活的产品设计简化了对液晶显示器与其他大型玻璃面板应用之温度测量,实现了高精确度的工艺验证与优化。

ECI

化学过程控制

ECI Technology提供化学工艺监测产品,为显示器制造提供强大支援。有关更多资讯,请访问https://www.ecitechnology.com/products/

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