MEMS

微机电系统 (MEMS) 是用于需求量不断增加的消费类、汽车类和工业类产品中的微型装置,例如智能手机、麦克风、安全气囊传感器、陀螺仪、导航系统、游戏机和生物医学设备。
 
MEMS 设备的制造涵盖了范围广泛的应用和材料,而其中定制工艺往往被用来制造可改善生活品质的设备。
 
您知道您每天使用 MEMS 设备的频率有多高吗?单击缩略图,查看该信息图。
SPTS 是全球 MEMS 产业的晶圆加工系统领先供应商。  
 
MEMS 工艺: